还有很多国内的。模具钢与进口的相比，在性能特点上有很多优势，在一些场合使用时可以使效果更加理想。摘要:模具型腔的表面粗糙度不仅影响成型器件的外观，而且对产品性能也有很大影响。使用高端塑料模具钢对表面质量的要求越来越严格，目前抛光技术的局限性越来越大，难以满足其要求。探索新的抛光技术制造高端塑料模具钢获得超光滑表面和全局平坦化是迫切的，具有重要的现实意义。化学抛光(CMP)作为一种全局平坦化技术，广泛应用于超大规模集成电路中，抛光材料可以达到理想的抛光性能。本文介绍了应用更广泛的高端塑料模具钢以S136钢为例， 讨论了CMP技术获得优异抛光性能的工艺参数组合，并分析了其材料去除机理和化学抛光机理。本文采用X射线衍射、扫描电子显微镜和原子力显微镜对抛光性能进行了表征，采用均方根粗糙度(RMS)和材料去除率(MRR)对抛光性能进行了评价。本文研究了影响CMP性能的更重要的参数，包括抛光液的酸碱度、下压力、抛光机转速和磨粒类型。首先，用单因素变量法确定上述参数的近似分布水平。结果表明，压力和转速对S136钢抛光性能的影响呈现相似的规律。随着压力和转速的增加，MRR是湛江s136注塑制品制造商。在较小的参数值范围内，MRR与压力和转速的关系可以用改进的Preston方程表示，预测值与实测值的误差在2%以内。当压力和转速值进一步增加时，普雷斯顿方程失效。抛光液的酸碱度对抛光性能有很大影响。在酸性抛光液体系中，S136钢可以获得较好的抛光性能。根据磨料种类的不同，同一种磨料不可能获得更大的MRR和更小的均方根。综合考虑后，选择二氧化硅作为更佳磨粒。在确定了各参数的近似分布水平后，通过正交实验提出了更佳抛光工艺参数，并通过实验进行了验证。以MRR和RMS为评价指标， 用XRD、SEM和AFM对结果进行了验证。结果表明，在更佳工艺参数下抛光后，S136钢的均方根值为68.31nm，均方根值为2.87 nm，MRR值为173.26nm/min。与其他参数组合相比，更佳工艺参数可以获得更小的表面粗糙度和更大的材料去除率，证实了上述正交实验结果所获得数据的有效性和可靠性。通过指标关系图分析了各因素对抛光性能的影响程度。更后，本文详细讨论了S136钢在CMP过程中的材料去除机理和化学抛光机理，分析了抛光缺陷产生的原因。对于S136钢的CMP过程， 关键和核心是实现化学作用和机械作用的平衡。所有参数变化和组合的本质都是影响机械作用和化学作用的匹配平衡。苏州市东锜模具钢物资有限公司是一家有十多年经营历史的公司，主要销售进口和国产优质产品。模具钢材料公司，公司拥有大小锯床40余台，铣床、数控加工设备20余台，并配备检测专业人员，真正做到了从下料、加工、发货“一条龙”服务，节省了客户宝贵的工作时间，大大提高了生产效率，深受客户好评！

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